透射电子显微镜（TEM）是一种用于研究原子级微观结构的高分辨率分析技术制备TEM的样品时，样品厚度需要足够薄，使得电子束能穿透样品到达探测器配备了EDX或者EELS的TEM可以进行元素成份定量分析TEM是分析晶体及非晶体结构的强大分析手段。

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